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  是指泵能从大气压力下开端抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他作业介质，并且泵的极限压力与油封式机械真空泵平等量级或许挨近的机械真空泵。

  现在，真空职业运用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充任泵的作业介质，在泵内起冷却、密封、光滑等多种作用。跟着科学的开展以及真空运用的扩展，原有的机械真空泵及其组成的抽无油干式机械真空泵概述

  气体系呈现了两个急需处理问题：一是泵的作业介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增添设备的保护本钱。其次，因为某些工艺过程中的反响物质使真空泵内的介质严峻蜕变，使泵反常作业。

  关于贫民的无油真空体系来说，尽管可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来避免返流，但不能彻底解决问题，并且使体系显得杂乱。而运用恰当型式的干式机械真空泵，则可以到达抱负的运用作用。

  2)半导体刻蚀工艺。在这些出产的根本工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

  3)除半导体工艺外的某些发生微粒的工艺，不期望微粒混入泵油中，而期望微粒排出泵外，则用必定型式的干式机械真空泵可以彻底满足要求；

  4)在化学工业、医药工业、食物制造业中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等，要避免有机溶剂形成污染，适合用干式线)用做一般无油清洁真空体系的前级泵，以避免油污染。

  Shanghai Hertzian Vacuum Equipment Co., Ltd.